高性價比關鍵部位RF系統測量方案

BIRD 半導體 RF 測試

BIRD Semiconductor RF Measurement

l BIRD Technologies 在射頻行業的各市場及產業環節因可靠性而世界聞名──我們全身心致力于提升 BIRD 產品的可靠性。

l 全球范圍內設立有 Bird Service Center（BSC），能夠根據各國家標準和各企業標準修理與校準 BIRD 產品。

l BSC 能隨時部署技術人員，監測和排除故障原因，解決任何現場的問題，優化客戶方案，滿足客戶的需求。 

半導體市場

Semiconductor Market

l 自從等離子體首次用于晶片生產過程后，功率測量就一直是半導體制造過程的關鍵部分。等離子體的特性非常靈敏，受激勵能量影響較大，而射頻能量直接應用于激勵等離子體；

l 半導體產業包含了生產制造高度集成化電路，包含通過將大量極度復雜的生產工藝集成到昂貴的生產材料上的過程。

l BIRD 長久以來為半導體行業生產過程器件的校準提供高可靠性的，準確度在1%的功率傳感器及RF部件；

l 相對于半導體生產環節的其他部分，RF電源雖然體積小但是是極為重要的部分，直接影響等離子體特性變化以及生產質量，因此射頻可靠性在整個環節中不可或缺；生產過程的重復性對于提高產能和控制半導體生產材料的利潤至關重要。

l BIRD 由于射頻可靠性而聞名，同時我們也以能提供滿足高重復性要求的儀器感到自豪。

BIRD RF  校準

BIRD RF Calibration

l 在初期，半導體產業所選擇的激勵能量為DC直流源。DC 源具有低成本，低準確度的特點，對于早期半導體集成電路生產工藝精度要求來說綽綽有余。

l 隨著制程科學技術及生產工藝的不斷進步，設備廠商 選用射頻源代替 DC 源作為激勵能量。射頻源具有穩定、精準的特點，能夠保證激勵能量環節的可靠性。

l 在半導體生產中，射頻能量直接決定了反應室中等離子體的特性。在半導體生產工藝中，任何環節的可靠性都影響了最終良率。

l 如在 wafer 生產的20日周期內，如若任何環節出現的微小偏差，最終可能 會造成晶格損傷等嚴重問題，造成大批壞片。

l 作為產業鏈其中的環節之一，維持射頻電源的穩定輸出是不可或缺的。在蝕刻、鍍膜等工藝中對射頻電源的應用非常廣泛，射頻上可能出現的問題直接制約了生產工藝及效率。

l 在新進設備裝機驗證及日常運行階段，需要定期使用 BIRD RF 校準套件對射頻電源進行驗證輸出一致性并加以校正；當機臺設備出現故障時，需要使用 BIRD RF 校準套件進行故障排查檢測。

BIRD 半導體測量解決方案

BIRD Semiconductor Measurement Solution

l 包含半導體精密功率傳感器、精密負載、精密讀數功率計及 SK-200 纜線測試儀。

其中：

1. 標準阻抗的低插損通過式精密功率傳感器（Sensor）串聯進入系統，準確測量功率參數；

2. 精密負載（Dummy Load）高效耗散射頻能量；

3. 讀數功率計（Meter）可自動計算駐波比，實現精確計算；

4. SK-200-TC 對于纜線系統及負載準確評估，保證系統穩定準確。